CSM CAT-S-AU-0000 Calotest ボール研磨式精密膜厚測定機
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簡易精密膜厚測定機
　簡易精密膜厚測定機 CALOTEST　は、ダイヤモンドペーストを塗布したボール
を用いた球面研摩法によるユニークな膜厚測定機です。試料の埋め込みや研磨と
いった煩わしい作業なしで迅速で簡便ながら精度よく薄膜や表面改質層の厚さ
を測定できます。通常数分でひとつの試料の測定ができます。
■仕様
適用膜種　　　　　　PVD，CVD（TiN，CrN，VC，Al2Ｏ3など）窒化層，めっき被膜，塗装膜
標準適用膜厚　　　　0.1〜50μm
標準ボール直径　　　10，15，20，25，30mm
ダイヤモンドスラリー　粒径1μm 100cc 1本，粒径0.2μm 100cc 1本
研磨時間設定　　　　2秒〜15分
各種薄膜の膜厚と摩耗量の測定
膜厚摩耗測定機 CALOWEAR　は、すばやく、簡単、安価に、膜厚と摩耗量
の評価ができる測定機です。カロテストと同様の方法で、膜厚を測定し、また
ボールに断続的にダイヤモンドやSiCスラリーを供給させて、薄膜の摩耗を促
します。サンプル裏側にあるロードセルにより、押し付け荷重（ボール自重）
を検知し、摩耗量を割り出します。
■仕様
適用材料　 PVD，CVD（TiN，CrN，VC，Al2Ｏ3など），セラミック溶射膜，表面硬化層，
　　　　　　　硬質めっき被膜，バルクセラミック，バルク金属
シャフトスピード　60〜1200rpm
標準ボール直径　20,25,30mm
研磨時間設定　10〜90秒または1〜9分
テーブル寸法　50×50mm

定価90万円